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桌面型小型離子濺射儀

簡(jiǎn)要描述:桌面型小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。該設(shè)備為桌面型,面積較小。

  • 產(chǎn)品型號(hào):JS-1600
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-02-17
  • 訪  問  量:1858
詳情介紹

JS-1600桌面型小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設(shè)計(jì),滿足大樣品的濺射需求。標(biāo)配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質(zhì)量的金膜提供了好的基礎(chǔ)。

JS-1600桌面型小型離子濺射儀主要技術(shù)指標(biāo)如下:

1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%;

2.真空室:直徑:160mm,高:120mm;

3.樣品臺(tái)(下部電極):濺射面積:直徑:50mm;

4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar;

5.離子電流表:50mA;

6.數(shù)顯計(jì)時(shí)器:根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間;

7.電壓:-1600DVC;

8.機(jī)械泵:2升/每秒;

9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,;

10.微型真空氣閥: 配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ3mm軟管;

11.外型尺寸:360mm×300mm×380mm;

備注:JS-600小型離子濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀。





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